Аквапечать , осваиваем технологию
Иммерсионная литография — это метод улучшения разрешения фотолитографии для изготовления интегральных схем (ИС),
который заменяет обычный воздушный зазор между конечной линзой и поверхностью пластины жидкой средой с показателем преломления больше единицы. Разрешение увеличивается на коэффициент, равный показателю преломления жидкости. В настоящих погружных литографических инструментах для этой жидкости используется высокоочищенная вода, достигающая характеристик менее 45 нанометров. ASML и Nikon в настоящее время являются единственными производителями систем погружной литографии или как ее еще называют аквапечать. Идея погружения литографии была впервые предложена и реализована в 1980-х годах.
Способность разрешать особенности в оптической литографии напрямую связана с числовой апертурой изображения, а числовая апертура является синусом максимального угла рефракции, умноженным на показатель преломления среды, через которую проходит свет. Линзы в «сухих» фотолитографических сканерах высочайшего разрешения фокусируют свет в конусе, граница которого почти параллельна поверхности пластины. Поскольку невозможно увеличить разрешение путем дальнейшего преломления, дополнительное разрешение получается путем вставки иммерсионной среды с более высоким показателем преломления между линзой и пластиной. Размытость уменьшается на коэффициент, равный показателю преломления среды. Например, для погружения воды с использованием ультрафиолетового света с длиной волны 193 нм показатель преломления составляет 1,44.